Tí àwọn iṣẹ́ rẹ bá nílò ìmọ́lẹ̀ ojú àti ìfaradà ooru tó fẹ́rẹ̀ẹ́ pé, Fused Silica Super Smooth Mirror Substrate ń ṣe iṣẹ́ tó dára jù. Pẹ̀lú àìlera ojú tí ó wà ní ìsàlẹ̀ 0.5 nm RMS àti λ/10 flatness ní 633 nm, àwọn ohun èlò wọ̀nyí ń dín ìtànkálẹ̀ ìmọ́lẹ̀ kù kódà ní àwọn àyíká tó le koko. A ṣe é fún àwọn ohun èlò afẹ́fẹ́, semiconductor, àti laser, wọ́n ń so àwọn ìparí dídán pẹ̀lú ààlà ìbàjẹ́ laser gíga (40 J/cm² @ 1064nm) láti bá àwọn ìlànà iṣẹ́ mu.
| paramita | Specification |
|---|---|
| apa miran | D=φ12.7-φ100mm(±0.01), H=4-8mm (customizable)(±0.05) |
| Iwọn Kickoff | 1/2D <Iwọn Kickoff <D (ṣe asefara) |
| rediosi ìsépo | SR=500-8000 (aṣeṣe), deede ± 0.05% |
| Aye yiye | λ/2-λ/10@632.8nm |
| Ti iyipo išedede | 30"-3" |
| Awujọ | Ra0.12nm (profaili Zygo, agbegbe 173*173μm) |
| Ohun elo | ULE, yanrin ti a dapọ, zerodur, oniyebiye, K9, ohun alumọni gara kan ṣoṣo |
| ohun elo | Lésà agbára gíga, àyẹ̀wò opitika tó péye, iṣẹ́-ṣíṣe semiconductor, àyẹ̀wò semiconductor |
| Àwọn àmì pàtó kìí ṣe ààlà tí a gbé kalẹ̀ lókè yìí, a sì lè ṣe àtúnṣe rẹ̀ gẹ́gẹ́ bí àìní olùlò. | |
Akiyesi: Awọn pato le jẹ adani lati pade awọn ibeere rẹ pato.

1. Fi awọn ibeere silẹ: Pin awọn alaye lẹkunrẹrẹ / yiya nipasẹ imeeli
2. Atunwo Apẹrẹ: Gba awọn esi imọ-ẹrọ laarin awọn wakati 72
3. Afọwọkọ: Gba awọn iwọn idanwo ni awọn ọjọ 14
4. Gbóògì: Iwọn pẹlu ipele-ifọwọsi didara

“Àwọn ojú ilẹ̀ RMS tí ó dúró ṣinṣin tí ó ní 0.32nm yanjú àwọn ìpèníjà dígí àwọn olùkójọpọ̀ EUV wa.” – Aṣáájú Ilé-iṣẹ́ Semiconductor

1. Kí ló mú kí Fused Silica Super Smooth Mirror Substrate dára fún àwọn ẹ̀rọ laser?
Iyatọ <0.5nm wọn dinku kaakiri, lakoko ti LIDT giga (40 J/cm²) ṣe idilọwọ ibajẹ tan ina.
2. Ṣe o le ṣẹda awọn sobusitireti ti o tobi ju 500mm?
Bẹẹni - kan si wa fun aṣa awọn ọna kika titobi to 800mm.
3. Bawo ni awọn ohun-ini gbona ṣe afiwe si Zerodur?
Yanrin ti a dapọ wa nfunni ni gbigbe UV to dara julọ ati CTE kekere (0.55 vs 0.85 x10⁻⁶/K).
4. Awọn aṣọ wo ni o ṣeduro fun UV lithography?
Ion-beam sputtered dielectric aso pẹlu <0.1% gbigba ni 13.5nm.
Ṣe o ti ṣetan lati gbe awọn eto opitika rẹ ga pẹlu Fused Silica Super Smooth Mirror Substrate wa ? Ẹgbẹ wa wa nibi lati ṣe iranlọwọ fun ọ pẹlu eyikeyi ibeere tabi awọn ibeere aṣa. Kan si wa ni xachaona@163.com , ki a si jiroro lori bi a ṣe le ṣe atilẹyin fun iṣẹ akanṣe rẹ ti nbọ.
Kọ ẹkọ nipa awọn ọja tuntun wa ati awọn ẹdinwo nipasẹ SMS tabi imeeli