Nikan Crystal ohun alumọni Super Low Loss iyipo digi

Nikan Crystal ohun alumọni Super Low Loss iyipo digi fun konge EUV Systems

A ṣe àgbékalẹ̀ rẹ̀ láti ṣàṣeyọrí àìlágbára ojú ilẹ̀ <0.1 nm àti ìwẹ̀nùmọ́ ohun èlò 99.9999%, Mirror Spherical Single Crystal Silicon Super Low Loss wa tún ṣe àtúnṣe ìpele opitika fún lithography ultraviolet (EUV), ìṣirò kuatomu, àti àwọn ètò afẹ́fẹ́. Pẹ̀lú iṣẹ́ ṣíṣe tí a ṣe ní ìṣọ̀kan láti ìdàgbàsókè kirisita sí metrology tí ISO fọwọ́ sí, a ń fi àwọn dígí tí ó ń ṣe ìpéye ojú ilẹ̀ λ/10 hàn, kódà lábẹ́ àwọn ẹrù ooru 500K.

sile

Kini idi ti Awọn digi Wa Ṣe Dara julọ

Atomic-Level Dada Pipe

• Irọrun Sub-ångström: Ṣe aṣeyọri ≤0.12 nm Ra roughness nipasẹ ipari magnetorheological, imukuro tuka ina ni lithography EUV ati ayewo aaye dudu-pataki fun iṣelọpọ chirún 3nm nibiti paapaa awọn aiṣedeede iwọn atomiki yoo yi ina 13.5nm pada, ni idaniloju wiwa abawọn ati abawọn abawọn.
• Ibajẹ subsurface odo: didan didan ti ko ni wahala ṣe idilọwọ awọn fifọ lesa-induced, pataki fun awọn digi olugba EUV ati awọn eto LDI, nibiti aapọn ohun elo le fa ikuna ajalu labẹ awọn iṣọn agbara giga, mimu iduroṣinṣin nipasẹ awọn iyipo 10⁸ + ni awọn ile-iṣẹ semikondokito.
• Iṣọkan Crystallographic: <0.1° Iyapa iṣalaye kọja gbogbo dada ṣe idaniloju awọn ohun-ini opiti deede, bọtini fun didaṣe itansan fọtolithography ati awọn irinṣẹ ayewo — isokan yii ṣe idilọwọ awọn isunmọ iṣẹ agbegbe, pataki fun iṣelọpọ oju ipade 3nm igbẹkẹle ati itupalẹ abawọn pipe-giga.

EUV-iṣapeye Performance

• 95%+ reflectivity ni 13.5 nm weful: Ṣe idaniloju lilo photon ti o pọju ni EUV lithography fun iṣelọpọ chirún 3nm, nibiti gbogbo photon 13.5nm ṣe pataki fun ṣiṣe deede-iṣafihan giga yii dinku ipadanu agbara, igbega iṣelọpọ ni awọn ile-iṣẹ semikondokito ti o gbẹkẹle ina wa daradara.
• Pipadanu gbigba gbigba ppm paapaa ni 5 W/cm² EUV ṣiṣan: Ṣe idilọwọ alapapo pupọ ati ibajẹ iṣẹ ni awọn eto EUV agbara giga, mimu iduroṣinṣin duro ni awọn digi olugba ati awọn apẹrẹ tan ina labẹ ṣiṣan nla, pataki fun yago fun ipalọlọ gbona ti yoo ba awọn ilana iyika ipade 20nm jẹ.
• 0.05 ppm/K imuduro imugboroja igbona: Awọn iṣeduro aitasera iwọn iwọn iwọn otutu ni awọn irinṣẹ EUV, aridaju deede titete ni fọtolithography ati awọn eto ayewo-iduroṣinṣin yii ṣe idilọwọ aiṣedeede ti o le ba konge iṣelọpọ 3nm, paapaa bi awọn iwọn otutu iṣẹ ṣe yatọ.

Igbẹkẹle Iṣe pataki

• Igbesi aye ọdun 10 labẹ iṣẹ agbara-giga 24/7: Ṣe idaniloju igbẹkẹle igba pipẹ ni awọn eto lithography EUV ti n ṣiṣẹ nigbagbogbo, idinku idinku fun awọn iyipada ni awọn fabs chip 3nm - agbara yii ṣe ibaamu irisi giga ati gbigba kekere, mimu iṣẹ ṣiṣe deede nipasẹ awọn ọdun ti ifihan photon 13.5nm ti o lagbara.
• MIL-O-13830A mọnamọna ifaramọ / resistance gbigbọn: Ṣe idiwọ aapọn ẹrọ ni gbigbe ati iṣẹ, pataki fun awọn irinṣẹ EUV ti a gbe laarin awọn ohun elo tabi ti o farahan si awọn gbigbọn ile-iṣẹ, idilọwọ awọn iṣipopada titete ti yoo fa idamu ilana 3nm, ni ibamu pẹlu iduroṣinṣin igbona fun agbara gbogbo-yika.
• Awọn aṣọ wiwu AR ti aṣa lati dinku awọn ifojusọna 632-1550 nm sẹhin: Imukuro kikọlu lati awọn iwọn gigun ti o yana ni awọn eto eto-ọpọlọpọ, aridaju ina 13.5nm EUV ko wa lainidi-itọkasi yii mu iṣedede fọtolithography pọ si, ni isọdọkan pẹlu gbigba kekere lati mu iwọn iṣelọpọ 3nm ṣiṣẹ.

Imọ-iṣe deede fun iṣelọpọ Chip 3nm

Mirror Oniruuru Crystal Silicon Super Low Loss wa mu ki iṣelọpọ semiconductor iran tuntun wa nipasẹ:

1. Yiyokuro ilana ipalọlọ nipasẹ λ/20 išedede oju igbi

2. Dinku awọn iyipo rirọpo digi nipasẹ 40% nipasẹ awọn ipele ti ko ni abawọn

3. Mimu isọdọkan tan ina pẹlu <0.001% fiseete gbona ni 500K

Gbẹkẹle nipa Global Innovators

“Lẹ́yìn tí a yípadà sí àwọn dígí onígun mẹ́ta wọn, a ṣe àṣeyọrí èrè wafer tó ga ju 1.8% lọ nínú ìlà iṣẹ́ 5nm node wa.” – Onímọ̀ Ẹ̀rọ, Olùdarí 3 Semiconductor OEM

Isọdi & Ibamu

• Irọrun Iwọn: Lati φ7.5 mm micro-optics si awọn sobusitireti 100 mm
• Awọn aṣayan Aso:
• Broadband UV-IR (250-2000 nm)
• Lesa iwọn ila-toro (± 0.1 nm)
• EUV-iṣapeye multilayer akopọ
• certifications:
• ISO 9001/14001 iṣelọpọ ifọwọsi
• ITAR-ọfẹ, ibamu REACH/ROHS
• Imurasilẹ iṣayẹwo olupese olupese ASML ni kikun

FAQs

Q: Bawo ni o ṣe ṣe idiwọ idibajẹ gbigbona ni awọn ohun elo agbara-giga?

A: Awọn digi wa nfi ẹyọkan-crystal silicon's ultra-low CTE (0.05 ppm / K) ni idapo pẹlu awọn aṣa iṣagbesori ti ko ni wahala, diwọn iyapa apẹrẹ si <1 nm paapaa ni 500K.

Q: Awọn iwọn iṣakoso didara wo ni idaniloju awọn ipele ti ko ni abawọn?

A: Gbogbo digi iyipo Crystal Silicon Super Low Loss kan ni a maa n ṣe:

• Interferometry ina funfun (ipinnu 0.1 nm)
• 100% aworan aworan abawọn nipasẹ airi aaye dudu
• Idanwo LIDT si 50 MW/cm²

Q: Ṣe o le baramu awọn pato ti a bo OEM ti o wa tẹlẹ?

A: Bẹẹni. Pin awọn ibeere ti tẹ ifarabalẹ rẹ, ati ẹgbẹ ti a bo wa yoo pese awọn solusan iṣapeye pipadanu laarin awọn wakati 72.

Beere rẹ Free digi Simulation

Ṣe tán láti gbé àwọn ẹ̀rọ ìrísí ojú rẹ ga pẹ̀lú dígí onígun mẹ́ta Crystal Silicon Super Low Loss Spherical wa ? Àwọn ògbógi wa wà níbí láti ràn ọ́ lọ́wọ́ láti rí ojútùú pípé fún iṣẹ́ rẹ.

Imeeli: xachaona@163.com