Calcium Fluoride Super Low Isonu Digi

Calcium Fluoride Super Isonu Pipadanu Digi Ayika: Awọn Optics pipe fun Awọn ohun elo Next-Gen

Nígbà tí gbogbo fọ́tòn bá pọ̀, àwòrán Calcium Fluoride Super Low Loss Spherical Mirror wa ń ṣe iṣẹ́ tí kò láfiwé nínú lithography ultraviolet (EUV), àwọn lésà tó yára jù, àti àwọn ètò optical tí kò ní àṣìṣe. A ṣe àgbékalẹ̀ wọn pẹ̀lú CaF₂ oníṣẹ̀dá ti 99.99% mímọ́, àwọn dígí wọ̀nyí ń dín ìpàdánù ìmọ́lẹ̀ kù sí <10 ppm nígbàtí wọ́n ń pa ìdúróṣinṣin ìṣètò mọ́ lábẹ́ ìtànṣán agbára gíga. Yálà o ń ṣe àtúnṣe sí iṣẹ́ ërún tàbí o ń tẹ̀síwájú àwọn ààlà ti fisíkísí lésà, àwọn dígí wa ń fúnni ní ìpéye ojú ilẹ̀ sub-nanometer àti ìdúróṣinṣin ooru (±5 ppb/K) fún àwọn ohun èlò pàtàkì iṣẹ́.

Kini idi ti Awọn digi Wa Duro

• Gbigbe Ultra-Low: Ṣe aṣeyọri 99.999% ifojusọna ni awọn iwọn gigun 13.5 nm, idinku egbin agbara ati ipalọlọ gbona, pataki fun iṣelọpọ semikondokito EUV nibiti paapaa gbigba kekere yoo ṣe idiwọ ilana wafer, aridaju lilo photon daradara ni awọn ilana lithography to gaju.
• Iduroṣinṣin Ooru: Ṣetọju ± 0.01% deede iwọn paapaa ni 100 ° C, o dara fun awọn irinṣẹ lithography EUV ti o ga, idilọwọ aiṣedeede ni awọn laini iṣelọpọ semikondokito nibiti awọn spikes iwọn otutu le ba titẹ sita Circuit nanoscale, aridaju iṣẹ ṣiṣe deede ni awọn iṣẹ ṣiṣe igbona.
• Nanoscale Precision: Irẹjẹ dada <0.12 nm Ra (idanwo nipasẹ Zygo profilometer) ṣe idaniloju awọn adanu pipinka kekere, pataki fun awọn opiti EUV ati awọn eto ibaraẹnisọrọ kuatomu nibiti awọn photon ti tuka yoo dinku iduroṣinṣin ifihan agbara, ni ibamu deede ti o nilo fun awọn ohun elo opiti ilọsiwaju.
• Awọn aṣa isọdi: Yan awọn iwọn ila opin lati φ12.7mm si φ100mm, pẹlu awọn rediosi ìsépo (500-8000mm) ti a ṣe deede si iṣeto opiti rẹ, ni ibamu lainidi sinu awọn ohun elo laabu iwapọ mejeeji ati ohun elo iṣelọpọ semikondokito nla, ni ibamu si awọn ibeere imọ-ẹrọ oniruuru pẹlu konge.

sile

Akiyesi: Awọn pato le ṣe deede si awọn iwulo pato rẹ.

Awọn ohun elo Bọtini

• EUV Lithography: Mu iṣelọpọ chirún-7nm ṣiṣẹ pẹlu awọn digi ti o tako fifo igbona ati idoti, mimu 99.999% ifojusọna ni 13.5nm ati ± 0.01% iduroṣinṣin iwọn ni 100 ° C lati ṣetọju awọn ipa ọna photon deede, pataki fun titọ awọn iyika kekere laisi ipalọlọ lati ooru tabi iparun.
• Awọn Lasers Femtosecond: Dinku ipalọlọ pulse ni awọn cavities laser ultrafast nipasẹ konge nanoscale (aibikita dada <0.12nm Ra), aridaju awọn pulses ni idaduro apẹrẹ ati agbara wọn — eyi dinku pipinka, pataki fun awọn ohun elo bii micromachining ati spectroscopy nibiti iduroṣinṣin pulse ṣe sọ awọn abajade.
• Awọn ọna iwọn ilawọn: Mu ilọsiwaju iwọnwọn pọ pẹlu ibajẹ abẹlẹ odo, ni so pọ pẹlu awọn apẹrẹ isọdi (φ12.7mm–φ100mm diamita) ti o baamu laisi aibikita sinu awọn iṣeto isọdiwọn. Awọn ipele didan ultra yọkuro pipinka, aridaju awọn kika ko ni yiyi nipasẹ awọn ailagbara ohun elo, pataki fun itupalẹ iwọn-konge giga.

Itumọ ti fun Gbẹkẹle

Gbogbo Calcium Fluoride Super Low Spolling Spherical Mirror ni a maa n ṣe:

• 100% interferometry ati idanwo sipekitirosikopi: Ṣe idaniloju gbogbo iyẹfun dada ti paati ati iṣẹ iwoye, ni idaniloju 99.999% ifojusọna ni 13.5nm ati <0.12nm Ra roughness-pataki fun awọn digi lithography EUV ati awọn cavities laser femtosecond nibiti paapaa awọn iyapa kekere le ṣe adehun
• Awọn iṣeṣiro aapọn ayika (Gigun kẹkẹ gbigbona, ọriniinitutu): Awọn paati koko-ọrọ si -50 ° C si 300 ° C swings ati 95% ọriniinitutu lati ṣe afiwe awọn ipo gidi-aye, ni idaniloju iduroṣinṣin ni awọn irinṣẹ EUV ati awọn eto metrology ti n ṣiṣẹ ni ile-iṣẹ oriṣiriṣi tabi awọn agbegbe laabu laisi ibajẹ iṣẹ.
• Ifọwọsi ẹni-kẹta fun ibamu SEMI ati ISO 9001: Awọn iṣayẹwo olominira jẹrisi ifaramọ si awọn ajohunše ile-iṣẹ semikondokito (SEMI) ati awọn eto iṣakoso didara (ISO 9001), n ​​pese idaniloju fun awọn alabara ọkọ ayọkẹlẹ ati aerospace pe awọn paati pade igbẹkẹle to muna ati awọn ibeere aitasera fun awọn ohun elo ti o ga.

Gbẹkẹle nipa Industry Olori

A pese awọn digi si awọn OEM ti o ni ifọwọsi ASML ati awọn ile-iṣẹ iwadii oke, ti nfunni:

• Gbóògì Scalable: Agbara ọdọọdun ti awọn ẹya 10,000+.
• 24/7 Imọ-ẹrọ Atilẹyin: Awọn ohun elo-apẹrẹ ohun elo-awọn aṣọ-ikede tabi awọn geometries.
• Atilẹyin igbesi aye: Iṣe iṣeduro pẹlu delamination odo tabi birefringence.

Ni Ìbéèrè?

Q: Kini akoyawo UV ni MO le nireti ni 13.5 nm?

A: Awọn digi wa ṣaṣeyọri> 99% gbigbe ni 13.5 nm pẹlu awọn ohun elo multilayer Mo / Si.

Q: Bawo ni o ṣe rii daju wiwu oju oju <0.5 nm?

A: A lo ipari magnetorheological (MRF) ati awọn wiwọn igbohunsafẹfẹ-kikun Zygo-fidi.

Q: Ṣe awọn digi rẹ ITAR-ni ifaramọ?

A: Bẹẹni - a pese ITAR-ọfẹ ati awọn aṣayan iṣakoso EAR fun awọn gbigbe agbaye.

Q: Ṣe o le ṣe awọn digi loke φ100mm?

A: Awọn iwọn ila opin ti aṣa titi de φ500mm wa pẹlu ± 0.05% išedede ìsépo.

Ṣetan lati Mu Eto Iwoju Rẹ dara si?

Fi imeeli ranṣẹ si xachaona@163.com fun agbasọ ọrọ tabi ijumọsọrọ imọ-ẹrọ nipa Calcium Fluoride Super Low Loss Spherical Mirror . Jẹ ki a ṣe amọna ojutu pipe rẹ loni.